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執(zhí)行機(jī)構(gòu)的驅(qū)動(dòng)方式不外乎是氣動(dòng)、電動(dòng)、液動(dòng)這三種。這三種方式驅(qū)動(dòng)的執(zhí)行機(jī)構(gòu)，在工作性能、造價(jià)、使用方便性等方面各有優(yōu)點(diǎn)，適用于不同的工作場(chǎng)合。
   氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)更大的特點(diǎn)是安全性高，在三種執(zhí)行機(jī)構(gòu)里，氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)是非常具防火、防爆優(yōu)勢(shì)的，適合應(yīng)用于石化、石油、油品加工等行業(yè)。除了防爆性能以外，氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的優(yōu)點(diǎn)還在于，它的性價(jià)比較好、使用簡(jiǎn)單方便、易于維護(hù)，對(duì)人員技術(shù)要求相對(duì)較低。氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的缺點(diǎn)在于它的控制精度低，不能和電動(dòng)、液動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)相比。這是源于氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的壓縮氣體驅(qū)動(dòng)方式，氣體的易壓縮性，使得氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)缺乏足夠的抗偏移性能，因此在控制精度方面缺少競(jìng)爭(zhēng)力。
   電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)近年來(lái)的使用率越來(lái)越高，特別是在高壓水系統(tǒng)中，電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)表現(xiàn)出其他兩種執(zhí)行機(jī)構(gòu)所不具備的優(yōu)點(diǎn)。電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的輸出推力大、穩(wěn)定性高，但同時(shí)造價(jià)又低于液動(dòng)執(zhí)行器，是高性價(jià)比的選擇。電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的參數(shù)控制非常精準(zhǔn)，但是它的結(jié)構(gòu)復(fù)雜，故障率要高于氣動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)，需要有較高技術(shù)水平的專(zhuān)業(yè)人員操作并維護(hù)。電動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)接收的是電信號(hào)，容易出現(xiàn)打火的問(wèn)題，安全性上就要遜色于其他兩種執(zhí)行機(jī)構(gòu)。
   液動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)的性能優(yōu)點(diǎn)很多，輸出推力大、抗偏移性好、控制精確、響應(yīng)速度快、運(yùn)行穩(wěn)定等。液動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)是以液體驅(qū)動(dòng)，液體有不可壓縮的特性，這賦予了液動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)很好的抗偏移能力，調(diào)節(jié)非常穩(wěn)定。液動(dòng)執(zhí)行器的缺點(diǎn)是造價(jià)高昂，要運(yùn)行液動(dòng)執(zhí)行器需要配備液壓站和輸油管路，這要求很大的初期投資。液動(dòng)執(zhí)行器的體積也比較大、顯得比較笨重，因此只有大型的、特殊的工程才會(huì)專(zhuān)門(mén)建造并使用液動(dòng)執(zhí)行機(jī)構(gòu)。